工作电话:
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型号：BTF-1700C-CVD
设备特点：
♊此款1700℃高热CVD装置软件化，是由1700度管式炉、三路水平视频超声波流量计装置软件化包括国产货高正空装置软件化（或加装低正空装置软件化）所组合。此仪器主要是适用于:正空或节日气氛烧结工艺、基片表层的镀膜等请求烧水的温度较高的實驗环镜. 仪器技艺成熟期、水平准确，温场平滑，架构适宜，气路使用液晶板屏摸用户界面，促使的操作不正确简单、便宜；仪器的多种技艺参数指标，30段可java开发温控仪装置软件化更方法,使另一實驗的进行壮态尽在您的撑握在其中。
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蒸汽加热区参数值： | 炉管大小：Φ60/80×1000mm（管经可以选择） 升温组件：硅钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 稳定额定功率：5.2 KW 外表宽度：610×440×720 mm 条件配件价格：高纯1支，2对，1套，2套，1副，1支，小保险公司1个； 𒈔密封带带体统：炉管两端配备有不銹钢密封带带法兰盘（例如五金机械针阀，游标式真空箱压为表和连接管式宝塔嘴直接头） 接口可按其实应用映射。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 🔴工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连入头类：双卡套不銹钢管接头。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国内生产助力泵尺寸：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 交流电源：220v 50hz 伺服电机工作效率：0.4kw 进排气阀相连接口：KF25 用油表：1.1L 三相电机发动机转速：1440rpm 作业氛围温湿度：5-40℃ 燥声：≤56db 电阻真空计参数： 1.要配规管：ZJ-52T热敏电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.测试路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 🥂5.设定途径：断电器产品接线柱转换，阻抗技能 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感觉阻抗， 6.电： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功能损耗： 20W 利用波浪管自動隔板阀与进口真空装置相联接。 |
高真空系统参数：
| 环境相比空气湿度：≤85% 的工作电阻：AC220V±10% 50/60HZ 电机功率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 外观形状尺寸图：850×600×650mm 机械泵: 抽气传送速度：10m³/h 容剩余油量：1.1L 交流接触器工作效率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气数率：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 重新启动的时间：＜2min 固定转动速度：4300转/分 放凉手段：的环境高温5-32℃时，风冷；5-40℃时，风冷。 分子泵控制器: 电压降：220V±22V 起动电压电流：≤7A 输出几率：47HZ—63HZ 大效果功率：≤150W 大加快直流电压：≤40V 高速度时间间隔：≤3min 次数（双速）：绕城高速705HZ±10HZ ♋ 慢速430HZ±5HZ 复合真空计: 预估路数：2路（阻值规、电离规各1路） 岗位格局：一键/自然 电阻功率模块性能指标 规管形号：ZJ-52T电容规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离标段数据 规管型號：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方法：焦耳去气 另外的技术指标 把握路数：4路 调节具体方法：点动或区域内调节/带掉电记住 抑制gps精度：±1% 抽样准确时间：1S 开关电源：220V±10% 50HZ 功能消耗：50W 使用的区域摄氏度：0℃~45℃ 内部含水率：≤85% 进行连接管道: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 用于波浪管手动式隔板阀与负压机系统相互接。 |
备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
